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Leyendo las definiciones parece que todo sea lo mismo: una reproducción en miniatura de un documento, como una especie de diapositiva que se tiene que ver con un lector especial.
¿Pero en qué se diferencian estas tres cosas?

Microforma es un término generico para cualquier medio, transparente u opaco que contenga microimágenes. Una microimagen es una unidad de texto, de gráfico o de material producido por ordenador contenida en fichas de ventana, microfichas, microfilme, microopacos u otros microformatos y que es demasiado pequeño para que se pueda leer sin ampliar. Pueden ser reproducciones de textos o gráficos que ya existen (microcopias) o publicaciones originales.

Las microformas engloban las microfichas, los microfilmes, las fichas de ventana, etc. Microcopia o micrograbado o micrograbación es el proceso por el cual se realizan esas microformas. O sea, que las microformas en general serían el resultado de un proceso de microcopia o micrograbado

Espero haberte aclarado un poco
Un saludo

(Sin texto)